大量程大流量氣體質量流量計/控制器MFC

一、ACU20FD-LH 高精度 大量程大流量氣體質量流量計/控制器MFC MFM 產品概述：

1、精度更高，響應更快，帶網口；

2、管狀分流，不易堵塞；

3、適用于各種低壓和高壓管道；

4、預熱時間短，零漂小，可靠性高；

5、可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量；

二、產品應用：

真空鍍膜 / 太陽能、氫能等新能源 / 半導體 / 石油石化精細化工 / 電力冶金

環保 / 食品包裝 / 生物醫藥 / 新材料 / 工業制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統

三、ACU20FD-LH 高精度 大量程大流量氣體質量流量計/控制器MFC MFM 產品參數：

量程范圍：2SCCM～6000SLM                                              
準 確  度：±0.5%F.S
線       性：±0.5%F.S
重復精度：±0.2%F.S
響應時間：流量計：＜0.1s；流量控制器：<0.2s
數 字  量：RS232/485，MODBUS，Profibus，DeviceNet等協議。
模 擬  量：0～5V、4-20mA、1～5V
供       電：±15VDC，24VDC
工作溫度：0～50℃
工作壓降：<0.01Mpa（流量計）
工作壓差：0.1~0.5Mpa （流量控制器）
耐       壓：3MPa/10MPa
漏       率：1×10-9SCCSHe
溫度系數：±0.025%F.S/℃
底座材質：不銹鋼
密封材質：氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠，聚四氟乙烯，FFKM/FFPM等                                                              
接       頭：φ3，φ6，1/8"，1/4"，3/8"，1/2"，1"… …卡套、法蘭、快插、寶塔等。。。

如果所需性能要求與上述性能不同，請溝通定制。