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一、產品特點概述：
◆管狀分流，不易堵塞
◆適用于各種低壓和高壓管道
◆預熱時間短，零漂小，可靠性高
◆可以配有顯示屏，可在顯示屏上操控
◆也可以模擬量輸入/輸出，使用二次表或流量計算機控制和顯示流量。
二、產品原理概述：
采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量，不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值去驅動控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
三、產品參數：
| 量程范圍 | 2SCCM～6000SLM |
| 測控范圍 | 流量計量程比100:1 控制器量程比50:1 |
| 準確度 | ±0.5%F.S |
| 線性 | ±0.5%F.S |
| 重復精度 | ±0.2%F.S |
| 響應時間 | 流量計：＜0.1s |
| 流量控制器：<0.2s | |
| 數字量 | RS232/485，MODBUS協議 |
| 模擬量 | 0～5V、4-20mA、1～5V |
| 供電 | ±15VDC，24VDC |
| 工作溫度 | 0～50℃ |
| 工作壓力 | 工作壓降：<0.01Mpa |
| 最大耐壓 | 3MPa/10MPa |
| 電氣連接 | DB9孔 |
| 漏率 | 1×10-9Pa m3/S |
| 溫度系數 | ±0.025%F.S/℃ |
| 底座材質 | 不銹鋼 |
| 密封材質 | 氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠，全氟醚 |
| 接頭 | φ3，φ6，1/8"，1/4"... ... 按客戶需求定制 |
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